Mikrosystemtechnik Zukunftsszenarien
Mikrosystemtechnik, entstanden aus der Ergänzung der Mikroelektronik durch andere Mikrotechniken wie Mikromechanik oder Mikrooptik, ermöglicht heute die Realisierung vollständiger Systeme für unterschiedlichste Anwendungen auf kleinstem Raum. Die Bewertun
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Engineering
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Alfons Botthof . Joachim Pelka (Hrsg.)
Mikrosystemtechni k Zukunftsszenarien
,
Springer
Alfons Botthof VDI/VDE-Technologiezentrum Informationstechnik GmbH Rheinstr. lOB 14513 Teltow Germany Joachim Pelka Fraunhofer-Verbund Mikroelektronik VuE Gustav-Meyer-Allee 25 13355 Berlin Germany
ISBN 978-3-662-08760-2 ISBN 978-3-662-08759-6 (eBook) DOI 10.1007/978-3-662-08759-6 Bibliografische Information Der Deutschen Bibliothek Die Deutsche Bibliothek verzeichnet diese Publikation in der Deutschen Nationalbibliografie; detaillierte bibliografische Daten sind im Internet über abrufhar.
Dieses Werk ist urheberrechtlich geschützt. Die dadurch begründeten Rechte, insbesondere die der übersetzung, des Nachdrucks, des Vortrags, der Entnahme von Abbildungen und Tabellen, der Funksendung, der Mikroverfilmung oder VervieWiltigung auf anderen Wegen und der Speicherung in Datenverarbeitungsanlagen, bleiben, auch bei nur auszugsweiser Verwertung, vorbehalten. Eine Vervielfältigung dieses Werkes oder von Teilen dieses Werkes ist auch im Einzelfall nur in den Grenzen der gesetzlichen Bestimmungen des Urheberrechtsgesetzes der Bundesrepublik Deutschland vom 9. September 1965 in der jeweils geltenden Fassung zulässig. Sie ist grundSätzlich vergütungspflichtig. Zuwiderhandlungen unterliegen den Strafbestimmungen des Urheberrechtsgesetzes. hup:/Iwww.springer.de © Springer-Verlag Berlin Heidelberg 2003 Ursprünglich erschienen bei Springer-Verlag Berlin Heidelberg New York 2003 Softcover reprint of the hardcover I st edition 2003
Die Wiedergabe von Gebrauchsnamen, Handelsnamen, Warenbezeichnungen usw. in diesem Buch berechtigt auch ohne besondere Kennzeichnung nicht zu der Annahme, dass solche Namen im Sinne der Warenzeichen- und Markenschutz-Gesetzgebung als frei zu betrachten wären und daher von jedermann benutzt werden dürften. Sollte in diesem Werk direkt oder indirekt auf Gesetze, Vorschriften oder Richtlinien (z. B. DIN, VDI, VDE) Bezug genommen oder aus ihnen zitiert worden sein, so kann der Verlag keine Gewähr für die Richtigkeit, Vollständigkeit oder Aktualität übernehmen. Es empfiehlt sich, gegebenenfalls für die eigenen Arbeiten die vollständigen Vorschriften oder Richtlinien in der jeweils gültigen Fassung hinzuzuziehen. Satz: Daten von den Autoren Einbandgestaltung : E. Kirchner, Heidelberg Gedruckt auf säurefreiem Papier 68/3111/M - 5 4321
Zum Geleit
Deutschland ist seit Jahrhunderten ein Land der Denker, Forscher und Erfinder. Johann Gutenberg, Otto Lilienthai, Albert Einstein, Klaus von Klitzing haben als Visionäre Weichen der Entwicklung gestellt. Weil das so bleiben soll, schaut man auch heute noch in die mittelbare und ferne Zukunft, entwickelt Ideen und realisiert langfristige Forschungsprogramme. Trotz aller wirtschaftlichen Probleme und eines tiefgreifenden gesellschaftlichen Wandels müssen visionäre Projekte gefördert werden. Das ist gut und wichtig. Nur so wird man auch noch im Jahre 2020 vom Standort Deu
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