Vakuumbeschichtung Anwendungen Teil II Funktionelle und dekorative S
Funktionelle und dekorative Schichten aus Glas, Kunststoff, Papier und Metallen; Tribologie; Korrosionsschutz; Informationsspeicherung; CVD-Anwendungen.
- PDF / 27,888,311 Bytes
- 267 Pages / 481.92 x 691.68 pts Page_size
- 25 Downloads / 150 Views
Vakuumbeschichtung 5 Anwendungen Teil 11 II Funktionelle und dekorative Schichten auf Glas, Kunststoff, Papier und Metallen - Tribologie Korrosionsschutz - Informationsspeicherung CVD-Anwendungen Herausgeber: Prof. Dr. Gerhard Kienel Dr.-Ing. Erhard Broszeit Dr. rer. nato nat. Anton Dietrich nat. Albert Feuerstein Dr. rer. nato nat. Gerhard Kienel Prof. Dr. rer. nato Dipl.-Ing. Helmuth Lämmermann Lămmermann Dr. phil. nat. nato N orbert Marschall Dipl.-Ing. Bernd Matthes Prof. Dr. rer. nat. Klaus Roll Röll Prof. Dr. rer. nat. Georg Wahl
Springer-Verlag Berlin Heidelberg GmbH
Die Deutsche Bibliothek - CIP-Einheitsaufnahme
Vakuumbescbichtung / Hrsg.: Gerhard KieneI.- Diisseldorf: VOI-VerI. NE: Kienel, Gerhard [Hrsg.] 5. Anwendungen. - Teil II. Funktionelle und dekorative Schichten auf Glas, Kunststoff, Papier und Metallen Tribologie - Korrosionsschutz - Informationsspeicherung CVD-Anwendungen / Erhard Broszeit ... - 1993 NE: Broszeit, Erhard
©
Springer-Verlag Berlin Heidelberg 1993 Ursprunglich erschienen bei VDI-Verlag GmbH. DUsseldorf 1993
Alle Rechte, auch das des auszugsweisen Nachdruckes, der auszugsweisen oder vollstăndigen photomechanischen Wiedergabe (Photokopie, Mikrokopie) und das der Obersetzung, vorbehalten.
Herstellung: PROserv, Berlin Satz: Fotosatz-Service Kohler OHG, Wiirzburg ISBN 978-3-642-63432-1 ISBN 978-3-642-58008-6 (eBook) DOI 10.1007/978-3-642-58008-6
Vorwort
Die Vakuumbeschichtung befindet sich in einer Phase starker Ausweitung. Die letzten Jahre sind gekennzeichnet durch viele bedeutende Neuentwicklungen auf den Gebieten der Verfahrenstechnik (plasmagestiitzte CVD- und PVD-Verfahren mit ihren zahlreichen Varianten und Ausfiihrungsformen), der MeB- und Priiftechnik (z. B. Oberflachen- und Diinnschichtanalyse, Rastertunnelmikroskopie, Einsatz von Lasern fiir Messungen an Substraten und diinnen Schichten) und der Vervollkommnung der Anlagentechnik, die besonders durch den Einsatz des Hochleistungszerstaubens wesentliche Impulse erhielt. Mit dem Unbalanced Magnetron sind bessere Targetausnutzungen, hohere Raten und langere ununterbrochene Betriebsdauern moglich als mit dem Magnetron in seiner klassischen Ausfiihrungsform. Wesentlich umfangreicher ist auch die Palette der Anwendungen der Vakuumbeschichtungstechnik geworden. Zu schon seit Langerem bekannten industriellen Anwendungen (z. B. Optik, Elektronik, Kunststoffbeschichtung) kommen weitere, teilweise noch in der Entwicklung oder in der Anfangsphase der technischen Nutzung befindliche Gebiete wie Mikromechanik und Sensoren, Supraleitung, Optoelektronik, Solarzellen und Tribologie hinzu. Die Anzahl der weltweit iiber Diinne Schichten und ihre Anwendungen in mehr als 200 Zeitschriften und Tagungsbanden erscheinenden Veroffentlichungen diirfte iiber 10000 pro Jahr liegen. Dem neuesten Stand entsprechende zusammenfassende Darstellungen dieses umfangreichen Wissensgebietes erleichtern den Einstieg und dienen der allgemeinen Information. So war das 1987 erschienene Werk "Diinnschichttechnologie" als einzige deutschsprachige Monographie
