Silizium-Planartechnologie Grundprozesse, Physik und Bauelemente
Die Grundlagen der Mikroelektronik werden kompakt und in leicht verständlicher Form vorgestellt. Der Leser erfährt, wie integrierte Schalkreise hergestellt werden, wie sie funktionieren und wie ihre Grundelemente physikalisch beschrieben werden können. Au
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Hans-Gunther Wagemann, Tim Schonauer
Silizium-Planartechnologie
Hans Gunther Wagemann, Tim Schonauer
SiliziumPlanartechnologie Grundprozesse, Physik und Bauelemente
Teubner
B. G. Teubner Stuttgart· Leipzig' Wiesbaden
Bibliografische Information der Deutschen Bibliothek Die Deutsche Bibliothek verzeichnet diese Publikation in der Deutschen Nationalbibliographie; detaillierte bibliografische Daten sind im Internet uber abrufbar.
Prof. Dr.-Ing. Dr. h. c. Hans-Gunther Wagemann Geboren 1935 in SoestM'estf., Studium der Physik an der Technischen Universitat Berlin, Promotion 1970 C,Strahlungsbelastbarkeit von MOS-Bauelementen"), wissenschaftlicher Mitarbeiter 1965 - 76 am Hahn-Meitner-Institut Berlin auf dem Gebiet der Betriebssicherheit von Halbleiterbauelementen in Weltraumsatelliten . Seit 1977 Universitatsprofessor fOr Halbleitertechnik im Fachbereich Elektrotechnik der Technischen Universitat Berlin mit Arbeiten auf den Gebieten der MOS-Bauelemente und der Solarzellen . Autor mehrerer Studienbucher im Teubner-Verlag. Dr.-Ing. Tim Schonauer Geboren 1969 in Berlin, Studium der Elektrotechnik an der Technischen Universitat Berlin (TUB), ENSERG (Frankreich), Stanford University (USA), Diplom 1995, Promotion 2002 bei Prof. H. Klar am Institut fur Mikroelektronik derTUB. Von 2000-2002 Schaltungsentwicklung fOr breitbandige, optische Netze bei Multilink Technologies. Seit 2003 bei Infineon Technologies AG in Munchen.
1. Auflage Oktober 2003
Aile Rechte vorbehalten © B. G.Teubner Verlag / GWV Fachverlage GmbH, Wiesbaaen 2003 Der B. G.Teubner Verlag ist ein Unternehmen der Fachverlagsgruppe BertelsmannSpringer. www.teubner.de Das Werk einschlieBlich aller seiner Teile ist urheberrechtlich geschutzt. Jede Verwertung auBerhalb der engen Grenzen des Urheberrechtsgesetzes ist ohne Zustimmung des Verlags unzulassig und strafbar. Das gilt insbesondere fur Vervielfaltigungen, Obersetzungen, Mikroverfilmungen und die Einspeicherung und Verarbeitung in elektronischen Systemen . Die Wiedergabe von Gebrauchsnamen, Handelsnamen, Warenbezeichnungen usw. in diesem Werk berechtigt auch ohne besondere Kennzeichnung nicht zu der Annahme, dass solche Namen im Sinne der Warenzeichen- und Markenschutz-Gesetzgebung als frei zu betrachten waren und daher von jedermann benutzt werden durften. Umschlaggestaltung: Ulrike Weigel, www.CorporateDesignGroup.de Gedruckt auf saurefreiem und chlorfrei gebleichtem Papier.
ISBN-13:978-3-519-00467 -7 DOl: 10.1007/978-3-322-80070-1
e-ISBN-13:978-3-322-80070-1
Vorwort Dieses Buch behandelt die Grundlagen der Mikroelektronik. Integrierte Schaltkreise unterschiedlichster Art sind ihre Bauelemente, und deren Produktionstechnik wird von Ingenieuren der Festkorpertechnik betrieben, die in der Elektrotechnik, der Physik und in der Chemie ausgebildet sind. Dieses Buch wendet sieh an Studenten. Es ist entstanden aus einer Lehrveranstaltung der Elektrotechnik an der Technischen Universitiit Berlin fUr die Studienrichtung
Mikroelektronik.
Der
Stoffumfang
entspricht
einer
dreistiindigen
Lehrveranstal
