Erweiterung konventioneller Bauelemente durch Nanotechniken
Die seit Jahren fortschreitende, scheinbar unaufhaltbare Verkleinerung der MOS-Transistoren hat — zumindest teilweise — die Fortschritte in der Nanotechnologie erst ermöglicht. Bereits heute werden MOS-Transistoren mit Kanallängen um 100 nm in der Produkt
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Springer-Verlag Berlin Heidelberg GmbH
Engineering
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Wolfgang Fahrner (Hrsg.)
Nanotechnologie und Nanoprozesse Einführung, Bewertung Mit 232 Abbildungen und 19 Tabellen
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Herausgeber: Univ.-Prof. Dr. Wolfgang R. Fahrner FernUniversität Gesamthochschule in Hagen FB Elektrotechnik und Informationstechnik Bauelemente der Elektrotechnik Haldener Str. 182 58084 Hagen
ISBN 978-3-642-62910-5 ISBN 978-3-642-55727-9 (eBook) DOI 10.1007/978-3-642-55727-9
Bibliografische Information Der Deutschen Bibliothek. Die Deutsche Bibliothek verzeichnet diese Publikation in der Deutschen Nationalbibliografie; detaillierte bibliografische Daten sind im Internet über abrufbar. Dieses Werk ist urheberrechtlich geschützt. Die dadurch begründeten Rechte, insbesondere die der Übersetzung, des Nachdrucks, des Vortrags, der Entnahme von Abbildungen und Tabellen, der Funksendung, der Mikroverfilmung oder der Vervielfältigung auf anderen Wegen und der Speicherung in Datenverarbeitungsanlagen, bleiben, auch bei nur auszugsweiser Verwertung, vorbehalten. Eine Vervielfältigung dieses Werkes oder von Teilen dieses Werkes ist auch im Einzelfall nur in den Grenzen der gesetzlichen Bestimmungen des Urheberrechtsgesetzes der Bundesrepublik Deutschland vom 9. September 1965 in der jeweils geltenden Fassung zulässig. Sie ist grundsätzlich vergütungspflichtig. Zuwiderhandlungen unterliegen den Strafbestimmungen des Urheberrechtsgesetzes. http://www.springer.de © Springer-Verlag Berlin Heidelberg 2003 Ursprünglich erschienen bei Springer-Verlag Berlin Heidelberg New York 2003 Softcover reprint of the hardcover 1st edition 2003 Die Wiedergabe von Gebrauchsnamen, Handelsnamen, Warenbezeichnungen usw. in diesem Werk berechtigt auch ohne besondere Kennzeichnung nicht zu der Annahme, dass solche Namen im Sinne der Warenzeichen- und Markenschutz-Gesetzgebung als frei zu betrachten wären und daher von jedermann benutzt werden dürften. Sollte in diesem Werk direkt oder indirekt auf Gesetze, Vorschriften oder Richtlinien (z.B. DIN, VDI, VDE) Bezug genommen oder aus ihnen zitiert worden sein, so kann der Verlag keine Gewähr für Richtigkeit, Vollständigkeit oder Aktualität übernehmen. Es empfiehlt sich, gegebenenfalls für die eigenen Arbeiten die vollständigen Vorschriften oder Richtlinien in der jeweils gültigen Fassung hinzuzuziehen. Satzerstellung durch Autor Einbandgestaltung: Medio, Berlin Gedruckt auf säurefreiem Papier 7 / 3020 ra - 5 4 3 2 1 0 -
Vorwort
Spalten Sie ein Haar dreißigtausendmal! Dann hat es die Dicke eines Nanometers. Die vorliegende Schrift hat zum Ziel, einer breiteren wissenschaftlich interessierten Leserschaft eine Einführung in die Nanotechnologie zu geben. Wie immer bei einem solchen Unterfangen stoßen sich dabei Verständlichkeit für die Allgemeinheit und Exaktheit der Darstellung. Wir haben im Zweifelsfall der Letzteren den Vorzug gegeben. Strenger als in der Mikrotechnologie – die wir wenigstens in den Grundzügen als bekannt voraussetzen – sind in der Nanotechnologie verschiedene
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