Technologie der III/V-Halbleiter III/V-Heterostrukturen und elektron
Für zahlreiche neue Anwendungen vor allem in der Kommunikationstechnik sind die III-V-Verbindungshalbleiter die technologische Basis. Entsprechend wertvoll wird das Wissen über die Herstellungstechniken von Bauelementen für integrierte Mikrowellenschaltun
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Werner Prost
Technologie der III/V-Halbleiter III/V-Heterostrukturen und elektronische Hochstfrequenz-Bauelemente Mit 141 Abbildungen
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Springer
Werner Prost Gerhard-Mercator-Universitiit Fachbereich Elektrotechnik Kommandantenstr.60 47057 Duisberg
ISBN-13: 978-3-540-62804-0 Die Deutsche Bibliothek - Cip-Einheitsaufnahme Prost. Werner: Technologie der III/IV-Halbleiter: III/IV-Heterostrukturen und elektronische Hiichstfrequenz-Bauelemente 1 Werner Prost. - Berlin; Heidelberg; New York; Barcelona; Budapest; Hongkong; London; Mailand; Paris; Santa Clara; Singapur; Tokio: Springer. 1997 ISBN-13:978-3-540-62804-0 e-ISBN-13:978-3-642-60786-8 DOl: 10.1007/978-3-642-60786-8
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Springer-Verlag Berlin Heidelberg 1997
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Zu diesem Buch
Das vorliegende Buch ist der Technologie der Verbindungshalbleiter aus der III. und V. Hauptgruppe des Periodensystems der Elemente gewidmet. Es bezieht die sachliche Basis aus den Technologiebeitragen des Sonderforschungsbereich SFB 254 "Hochstfrequenz- und Hochstgeschwindigkeitsschaltungen aus IIIIYHalbleitern". Das Manuskript ist aus einem Lehrauftrag flir der GerhardMercator-Universitat -GH- Duisburg entstanden. Es wendet sich an interessierte Studenten mit Bezug zur Halbleitertechnologie in Elektrotechnik, Phys
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