Silicon Nitride in Encapsulation and Recrystallization
Semiconductor substrates or devices are encapsulated with high temperature-resistant silicon nitride films to protect them against damage caused by high-temperature processes. These include diffusion, electrical activation of implanted dopants, and anneal
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12 Mg 27
4 B. 26
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I I I B5 13 I 13 AI 35 ,
14 15 Si 15 P 16
6 7 C 14 N 4
16 5 9
6
o3
--
**Actinides
39
~ .Lantha n ides
59 Pr
91 90 Th 44 Pa 51
58 C.
61 Pm
62 Sm
63 Eu Gd
84
92 93 94 95 96 U 55 Np 71 Pu 71 Am 71 Cm71
60 Nd
-
89*** 104 105 71 71 Ac 40
97 Bk71
65 Tb
67 Ho
68 Er
69 Tm
70 Yb
53 I8
54 X. I
36 Kr I
16 Ar I
10 N. I
~)
71 Lu
I~H131
84 85 86 Po 12 At 8a Rn I
98 99 100 101 102 103 Cf 71 Es 71 Fm 71 Md 71 No 71 Lr 71
66
Dy
88
87
Fr25a Ra 31
74 76 57** 72 78 80 82 56 73 75 77 79 81 83 Ba 30 La 39 Hf 43 Ta 50 W 54 R. 70 Os 66 Ir 67 Pt 68 Au 62 Hg34 TI 38 Pb 47 Bi 19
Cs 25
55
17 CI 6
9 F5
23 24 25 26 27 26 29 30 31 32 34 35 33 V 48 Cr 52 Mn 56 F. 59 Co 58 Ni 57 Cu 60 Zn 32 Ga 36 G.45 As 17 S. 10 Br 7
I
I
!
I
I
39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52 37 38 Rb 24 Sr 29 Y 39 Zr 42 Nb 49 Mo53 Tc 69 Ru 63 Rh 64 Pd 65 Ag 61 Cd 33 In 37 Sn 46 Sb 18 T.II
19 • 20 21 22 K 22 Ca 28 Sc 39 Ti 41
Na 21
JJ
3 Li 20
I H2
Periodie Table of the Elements with the Gmelin System Numbers
Gmelin Handbook of Inorganic and Organometallic Chemistry 8th Edition
Gmelin Handbook of Inorganic and Organometallic Chemistry 8th Edition
Gmelin Handbuch der Anorganischen Chemie Achte, völlig neu bearbeitete Auflage
PREPARED AND ISSUED BV
Gmelin-Institut für Anorganische Chemie der Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften Director: Ekkehard Fluck
FOUNDED BV
Leopold Gmelin
8TH EDITION
8th Edition begun under the auspices of the Deutsche Chemische Gesellschaft by R. J. Meyer
CONTINUED BV
E. H. E. Pietsch and A. Kotowski, and by Margot Becke-Goehring
Springer-Verlag Berlin Heidelberg GmbH
Gmelin-Institut für Anorganische Chemie der Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften
ADVISORY BOARD
Dr. G. Breil, Chairman (Ruhrchemie AG, Oberhausen-Holten), Prof. Dr. K. Dehnicke (PhilippsUniversität, Marburg), Prof. Dr. N. N. Greenwood (University of Leeds), Prof. Dr. H. Grünewald (Bayer AG, Leverkusen), Prof. Dr. H. Harnisch (Hoechst AG, Frankfurt/Main-Höchst), Prof. Dr. H. Nöth (Universität München), Prof. Dr. H. Offermanns (Degussa AG, Frankfurt/Main), Prof. Dr. G. zu Putlitz (Universität Heidelberg), Prof. Dr. A. Simon (Max-Planck-Institut für Festkörperforschung, Stuttgart), Prof. Dr. Dr. h.c. mult. G. Wilke (Max-Planck-Institut für Kohlenforschung, Mülheim/Ruhr), Prof. Dr. H. F. Zacher (Präsident der Max-Planck-Gesellschaft, München)
DIRECTOR
Prof. Dr. Dr. h.c. Ekkehard Fluck
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Dr. A. W. Frank, Dr. U. Krüerke, Dr. A. R. Pebler, Dr. G. P. Richter, Dr. K. Rumpf
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Prof. Dr. Dr. E. h. Margot Becke
CORRESPONDENT MEMBERS OF THE INSTITUTE
Prof. Dr. Dr. h.c. Hans Bock Prof. Dr. Dr. Alois Haas, Sc. D. (Cantab.)
GMELIN HANDBOOK
Dr. J. von Jouanne Dr. H. Bergmann, J. Füssel, Dr. H. Katscher, Dr. R. Keim, Dr. E. Koch, Dipl.-Phys. D. Koschel, Dr. A. Kubny, Dr. P. Merlet, Dr. F. A. Schröder, Dr. A. Slawis
