Mikrosystemtechnik Prozessschritte, Technologien, Anwendungen
Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechan
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Mikrosystemtechnik Prozessschritte, Technologien, Anwendungen
Ulrich Hilleringmann
Mikrosystemtechnik Prozessschritte, Technologien, Anwendungen
Ulrich Hilleringmann
Mikrosystemtechnik Prozessschritte, Technologien, Anwendungen Mit 193 Abbildungen und 13 Tabellen
Bibliografische Information Der Deutschen Bibliothek Die Deutsche Bibliothek verzeichnet diese Publikation in der Deutschen Nationalbibliografie; detaillierte bibliografische Daten sind im Internet über abrufbar.
Prof. Dr.-Ing. Ulrich Hilleringmann studierte von 1978 bis 1984 Diplom-Physik, promovierte 1988 an der Universität Dortmund zum Thema „Laser-Rekristallisation von Silizium-Integration von CMOS-Schaltungen auf isolierendem Substrat“ und habilitierte sich 1994, ebenfalls an der Universität Dortmund, mit der Schrift „Integrierte Optik auf Silizium – Ein Beitrag zur Mikrosystemtechnik”. Seit 1999 ist er Professor für das Fachgebiet Sensorik an der Universität Paderborn. Dort liest er Vorlesungen mit den Schwerpunkten Halbleitertechnologie, Halbleiterbauelemente, Messtechnik, Mikrosystemtechnik und Sensorik.
1. Auflage April 2006
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