Mikrofluidik Entwurf, Herstellung und Charakterisierung

Die Mikrofluidik ist ein Teilgebiet der Mikrosystemtechnik. Obwohl sich dieses Forschungsfeld noch in der frühen Entwicklungsphase befindet, verspricht Mikrofluidik große wissenschaftliche und kommerzielle Potenziale in der nahen Zukunft. Dieses Buch ist

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Mikrofluidik Entwurf, Herstellung und Charakterisierung

Nam-Trung Nguyen

Mikrofluidik Entwurf, Herstellung und Charakterisierung Mit 140 Abbildungen, 12 Tabellen und 37 Beispielen

mJ

Teubner

B. G. Teubner Stuttgart· Leipzig· Wiesbaden

Bibliografische Information der Deutschen Bibliothek Die Deutsche Bibliothek verzeichnet diese Publikation in der Deutschen Nationalbibliographie; detaillierte bibliografische Daten sind im Internet Ober abrufbar.

Prof. Dr.-Ing. Nam-Trung Nguyen lehrt Technische Thermodynamik und industrielle Elektronik an der Nanyang Technological University in Singapur. Er forscht und entwickelt auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik und Mikrofluidik. 1988 Studium der Mikrosystemtechnik an der Technischen Universitat Chemnitz. 1993 wissenschaftlicher Mitarbeiter an der Technischen Universitat Chemnitz. 1997 wissenschaftlicher Mitarbeiter an der University of California at Berkeley (USA). 1999 wissenschaftlicher Mitarbeiter an der Nanyang Technological University (Singapur). 2001 Assistant Professor an der Nanyang Technological University (Singapur)

Von der Fakultat fOr Elektrotechnik und Informationstechnik der Technischen Universitat Chemnitz genehmigte Habilitationsschrift

LaTeX-Formatvorlage: Harald Harders 1. Auflage Oktober 2004

Aile Rechte vorbehalten © B. G. Teubner Verlag / GWV Fachverlage GmbH, Wiesbaden 2004 Der B. G. Teubner Verlag ist ein Unternehmen von Springer Science+Business Media. www.teubner.de Das Werk einschlieBlich aller seiner Teile ist urheberrechtlich geschOtzt. Jede Verwertung auBerhalb der engen Grenzen des Urheberrechtsgesetzes ist ohne Zustimmung des Verlags unzulassig und strafbar. Das gilt insbesondere fOr Vervielfaltigungen, Obersetzungen, Mikroverfilmungen und die Einspeicherung und Verarbeitung in elektronischen Systemen. Die Wiedergabe von Gebrauchsnamen, Handelsnamen, Warenbezeichnungen usw. in diesem Werk berechtigt auch ohne besondere Kennzeichnung nicht zu der Annahme, dass solche Namen im Sinne der Warenzeichen- und Markenschutz-Gesetzgebung als frei zu betrachten waren und daher von jedermann benutzt werden dOrften. Umschlaggestaltung: Ulrike Weigel, www.CorporateDesignGroup.de Gedruckt auf saurefreiem und chlorfrei gebleichtem Papier.

ISBN-13: 978-3-S19-00466-0 e-ISBN-13: 978-3-322-80069-5 001: 10.1007/978-3-322-80069-5

Vorwort Das vorliegende Buch wurde von der Fakultat fur Elektrotechnik und lnformationstechnik der Technischen Universitat Chemnitz als Habilitationsschrift genehmigt. Diese Arbeit entstand wahrend meiner Tatigkeit als wissenschaftlicher Mitarbeiter am Berkeley Sensors and Actuators Center (University of California at Berkeley, USA) und als Assistant-Professor an der School of Mechanical and Production Engineering (Nanyang Technological University, Singapur). Mein besonderer Dank gilt Herrn Prof. Dr.-Ing. Wolfram D6tzel fiir die Ubernahme der Betreuung und die Durchsicht des Manuskripts. lch bedanke mich bei Herrn Prof. Dr.-Ing. habil. Gerald Gerlach und Herrn Prof. Dr.-Ing. habil. Helmut Wurmus fiir ihr Interesse an dieser Arbe