Mikrosystementwurf Entwurf und Simulation von Mikrosystemen
Dieses Buch vereint die wesentlichen Aspekte zum erfolgreichen Entwurf von Mikrosystemen und gibt eine geschlossene Darstellung der Grundlagen, Entwurfsmethoden, Simulationsverfahren, Anwendungen und Technologien. Bei diesem Werk steht der Entwurf im Vord
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Springer-Verlag Berlin Heidelberg GmbH
Manfred Kasper
Mikrosystementwurf Entwurf und Simulation von Mikrosystemen
Mit 182 Abbildungen und 44 Tabellen
Springer
PROF. DR.-ING. MANFRED KASPER
Technische Universität Hamburg-Harburg Eißendorfer Straße 42 21073 Hamburg
ISBN 978-3-540-66497-0
Die Deutsche Bibliothek - CIP-Einheitsaufnahme Kasper, Manfred: Mikrosystementwurf und Simulation von Mikrosystemen 1 Manfred Kasper. - Berlin ; Heidelberg; New York ; Barcelona; Hongkong ; London ; Mailand ; Paris; Singapur ; Tokio: Springer, 2000 ISBN 978-3-540-66497-0
ISBN 978-3-642-57123-7 (eBook)
DOI 10.1007/978-3-642-57123-7
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© Springer-Verlag Berlin Heidelberg 2000 Urspriinglich erschienen bei Springer-Verlag Berlin Heidelberg NewYork 2000 Softcover reprint of ilie hardcover 1st edition 2000 Die Wiedergabe von Gebrauchsnamen, Handelsnamen, Warenbezeichnungen usw. in diesem Werk berechtigt auch ohne besondere Kennzeichnung nicht zu der Annahme, daß solche Namen im Sinne der Warenzeichen- und Markenschutz-Gesetzgebung als frei zu betrachten wären und daher von jedermann benutzt werden dürften. Sollte in diesem Werk direkt oder indirekt auf Gesetze, Vorschriften oder Richtlinien (z.B. DIN, VDI, VDE) Bezug genommen oder aus funen zitiert worden sein, so kann der Verlag keine Gewähr für die Richtigkeit, Vollständigkeit oder Aktualität übernehmen. Es empfiehlt sich, gegebenenfalls für die eigenen Arbeiten die vollständigen Vorschriften oder Richtlinien in der jeweils gültigen Fassung hinzuzuziehen. Einbandgestaltung: Fridhelm Steinen, Estudio Calamar, Spanien Satz: Reproduktionsfertige Vorlagen vom Autor SPIN: 10667870 68/3020 - 5 4 3 2 1 0 - Gedruckt auf säurefreiem Papier
Vorwort
Die Mikrosystemtechnik gilt als wichtige Zukunftstechnologie, sie wurde daher in das Lehrangebot fast aller technischen Hochschulen aufgenommen. An einigen Universitaten und zahlreichen Fachhochschulen gibt es bereits eigenstandige Studiengange. Dadie Mikrosystemtechnik auf in der Mikroelektronik entwickelten Technologien zur Herstellung von integrierten Schaltungen aufbaut, verfolgen die meisten Lehr- und Fachbucher den Technologieaspekt. Ziel des vorliegenden Buchs ist es, an die Denkweise heranzufuhren, die fur den erfolgreichen Entwurf von Mikrosystemen erforderlich ist. Ein zentraler Punkt b
