Mikroelektronik Halbleiterbauelemente und deren Anwendung in elektro

Die wichtigsten Themengebiete der Mikroelektonik vermittelt dieses Buch in prägnanter Form. Der Leser erlangt das Verständnis für den Aufbau und die Funktionsweise elektronischer Halbleiterbauelemente der Mikroelektronik und lernt den Einsatz in scha

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Th. Tille • D. Schmitt-Landsiedel

Mikroelektronik Halbleiterbauelemente und deren Anwendung in elektronischen Schaltungen

Mit 243 Abbildungen

4y Springer

Dr.-Ing. Thomas Tille Technische Universitat Miinchen Arcisstr. 21 80333 Miinchen

BMW AG Knorrstr. 147 80788 Miinchen

Prof. Dr. rer. nat. Doris Schmitt-Landsiedel Technische Universitat Miinchen Arcisstr. 21 80333 Miinchen

I S B N 3-540-20422-9 S p r i n g e r - V e r l a g B e r l i n H e i d e l b e r g N e w York Bibliografische Information der Deutschen Bibliothek Die Deutsche Bibliothek verzeichnet diese Publikation in der Deutschen Nationalbibliografie; detaillierte bibliografische Daten sind im Internet iiber http://dnb.ddb.de abrufbar.

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Vorwort

Die Mikroelektronik stellt mit ihren innovativen Entwicklungen und breiten Anwendungsmoglichkeiten einen wichtigen Wirtschaftsfaktor in der heutigen Zeit dar, dessen Bedeutung mehr und mehr zunimmt. Auf Grund der wachsenden Komplexitat in der Mikroelektronik ist die Kenntnis der Wirkungsweise von Halbleiterbauelementen und deren Nutzung in elektronischen Schaltungen von groBer Bedeutung. Dieses Buch vermittelt die wichtigsten Themengebiete der Mikroelektronik in pragnanter Form. Es gestattet dem Leser, das Verstandnis fur den Aufbau und die Funktionsweise elektronischer Halbleiterbauelemente der Mi